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    晶圓搬運機的使用方法,快來學習一下吧
    發布時間:2023/3/15 13:33:01   點擊次數:116次

      晶圓搬運機是一個機械設備,用于在半導體生產過程中對硅片(晶圓)進行搬運和處理。晶圓搬運機常常被用于半導體制造過程中的自動化流線管道,如晶圓清潔、薄膜沉積、化學處理、烘烤、測試等生產過程。
      
      晶圓搬運機的使用方法主要分為以下幾步:
      
      1、裝載晶圓:
      
      首先將待處理的晶圓放入晶圓搬運機的載臺中,以便開始進行搬運和處理。在裝載晶圓時,需要注意晶圓是否平穩,以避免晶圓出現搖晃或移位等情況。
      
      2、設置參數:
      
      啟動晶圓搬運機的控制面板,在其中設置相關參數,例如處理時間、溫度、氣體流速等,以確保晶圓在正常的工作環境下進行。
      
      3、開始搬運:
      
      根據需求,選擇合適的搬運方式,如機械臂、滾筒式轉盤、氣浮式,開始搬運晶圓。在整個過程中,需要時刻關注晶圓的位置和狀態,以便確保整個搬運過程順利進行。
      
      4、清洗或處理:
      
      根據設定的參數和處理要求,將晶圓進行清洗、薄膜沉積、化學處理等各種不同的處理方式。在進行這些處理時,需要注意控制環境因素,如溫度、流量和氣體濃度等,以確保處理質量。
      
      5、卸載晶圓:
      
      當晶圓處理完畢后,需要將晶圓從晶圓搬運機中卸載出來,以便進行下一步處理。在卸載晶圓時,不僅需要保持晶圓的平穩,還需要對其進行清潔和檢查,以確保晶圓沒有受到任何損傷。

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